青岛杭氧电子气体有限公司青岛杭氧电子大宗气一期(扩改建)项目位于青岛市西海岸新区红石崖街道办事处中德生态园山宋路西侧、园区四号路南侧,为芯恩(青岛)集成电路有限公司供应其生产所需要的大宗气体,包括氧气(PO2)、二氧化碳(PCO2),最大供气量氧气168Nm3/h,二氧化碳60Nm3/h。项目总投资6100.01万元。占地面积5.8亩。布置氮压机隔音罩(建筑面积37m2)、室外装置区。PO2供应系统设置1个50m3+1个10m3液氧储罐、1套液氧提纯装置、2台液氧气化器、2组减压阀组、2台纯化器、2台PO2终端过滤器,配套输送管道。PCO2供应系统设置1个50m3低温二氧化碳储罐,气化器,电加热器,减压阀组,2台纯化器,2台终端过滤器,配套输送管道。供气方式:采用架空管道输送至芯恩(青岛)集成电路有限公司纯化间,纯化器、终端过滤器设置在纯化间内,经纯化过滤后至过滤器阀门为止。 |